基本病變是肺組織內(nèi)硅結(jié)節(jié)形成和肺彌漫性間質(zhì)纖維化。硅結(jié)節(jié)是硅沉著病的特征性病變。早期硅結(jié)節(jié)由吞噬硅塵的巨噬細(xì)胞局灶性聚積而成，多位于肺小動(dòng)脈周圍，為細(xì)胞性硅結(jié)節(jié)，隨后結(jié)節(jié)發(fā)生纖維化和玻璃樣變，成為玻璃樣硅結(jié)節(jié)。
    肉眼觀：硅結(jié)節(jié)境界清楚，呈圓形或橢圓形，灰白色，質(zhì)硬，觸之有砂粒樣感。鏡下：典型的硅結(jié)節(jié)中，玻璃樣變的膠原纖維組織呈同心圓層狀排列，中央常有內(nèi)膜增厚或閉塞的小血管，周圍纖維化。隨著病變的發(fā)展，晚期硅結(jié)節(jié)可融合成團(tuán)塊，并可發(fā)生壞死、液化，形成硅沉著病性空洞。肺間質(zhì)有不同程度的彌漫性纖維化。
    根據(jù)硅沉著病病變程度和范圍可將硅沉著病分為三期：
    Ⅰ期硅沉著病：硅結(jié)節(jié)主要局限于淋巴系統(tǒng)。兩側(cè)肺門淋巴結(jié)腫大，淋巴結(jié)內(nèi)見硅結(jié)節(jié)形成。近肺門處肺組織及胸膜上也可有硅結(jié)節(jié)形成。
    Ⅱ期硅沉著?。汗杞Y(jié)節(jié)數(shù)量增多，體積增大，散布于全肺，但仍以肺門周圍中、下肺葉較密集，總的病變范圍不超過(guò)全肺的1/3.胸膜增厚。
    Ⅲ期硅沉著?。簝煞蝺?nèi)硅結(jié)節(jié)密集且相互融合成塊。團(tuán)塊狀結(jié)節(jié)的中央可有硅沉著病空洞形成，病變范圍超過(guò)全肺的2/3.硅結(jié)節(jié)間肺組織有明顯的肺氣腫改變。