生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用單元安全檢查表 表5.2.3-1
序號(hào)
檢查項(xiàng)目及內(nèi)容
依據(jù)法規(guī)
檢查結(jié)果
備注
1
建筑結(jié)構(gòu)及平面布置
1.1
生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
GBJ16-87
3.2.1
√
均為二級(jí)。
1.2
若多層生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)為二級(jí)，其防火分區(qū)允許占地面積為4000m2。（因有自動(dòng)水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)允許占地面積增加一倍）
GBJ16-87
3.2.1
√
占地面積4000m2。
1.3
有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等）宜獨(dú)立設(shè)置。
GBJ16-87
3.4.1
√
單獨(dú)設(shè)置。
1.4
有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等）應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施，泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。
GBJ16-87
3.4.2
∽
硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無(wú)泄壓。
1.5
硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值（m2/m3）宜采用0.05～0.22，體積超過1000m3的建筑，不宜小于0.03。
GBJ16-87
3.4.3
√
約0.3。
1.6
生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等可能散發(fā)可燃?xì)怏w、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地面。
GBJ16-87
3.4.6
√
環(huán)氧地面。
1.7
有爆炸危險(xiǎn)的該甲乙類廠房不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室如必須貼鄰布置，應(yīng)采用一、二級(jí)耐火等級(jí)建筑物并應(yīng)采用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護(hù)墻隔開并設(shè)置直通室外或疏散樓梯的安全出口。
GBJ16-87
3.4.8
√
1.8
廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度7度設(shè)防要求，框架抗震等級(jí)二級(jí)要求。
GB50187-93
2.0.4
√
7度設(shè)防。
1.9
芯片光刻等對(duì)潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，并在四周留有綠化場(chǎng)地。
SJ30002-92
2.3.6
√
1.10
易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房?jī)?nèi)，或設(shè)在多層廠房的頂層端部。
SJ30002-92
3.6.12
×
除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外，均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。
2
潔凈廠房
2.1
潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。
GB50073-2001
4.3.1
√
分別設(shè)置人員、物料凈化室。
2.2
潔凈室內(nèi)噪聲值不應(yīng)大于70db（A）。
GB50073-2001
4.4.1
√
≤65dB。
2.3
潔凈實(shí)驗(yàn)室耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
GB50073-2001
5.2.1
√
二級(jí)。
2.4
潔凈室的頂棚和壁板應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。
GB50073-2001
5.2.4
√
2.5
潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。
GB50073-2001
5.2.5
√
用防火墻和防火門分隔。
2.6
潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。
GB50073-2001
5.2.9
√
2.7
潔凈廠區(qū)應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)，潔凈室事故排風(fēng)換氣次數(shù)應(yīng)采用10～20次/h，事故排風(fēng)宜由常用排風(fēng)系統(tǒng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證，事故排風(fēng)裝置的開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點(diǎn)，事故排風(fēng)應(yīng)與報(bào)警裝置聯(lián)鎖。
SJ30002-92
7.0.10
√
設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設(shè)手動(dòng)開關(guān)，設(shè)自動(dòng)聯(lián)鎖報(bào)警。
3
作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置
3.1
作業(yè)環(huán)境
3.1.1
車間內(nèi)人工運(yùn)輸通道寬度必須≥1.0m。
SJ30002-92
3.1.3
√
2.5m
3.1.2
設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。
SJ30002-92
3.1.4
√
3.1.3
潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，并應(yīng)設(shè)置指明應(yīng)急安全出口的疏散標(biāo)志。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。
SJ30002-92
7.0.14
√
設(shè)應(yīng)急照明、疏散標(biāo)志。
3.1.4
易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明，疏散指示標(biāo)志及排煙措施。
SJ30002-92
3.6.13
√
3.1.5
鋼梯、平臺(tái)所設(shè)置的護(hù)欄的設(shè)計(jì)應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
GB4053.1～3-93
GB4053.4-83
第2.5.2條
×
廢液收集罐處平臺(tái)護(hù)欄不符要求。
3.2
電子、化學(xué)工藝安全
3.2.1
高能離子注入機(jī)應(yīng)設(shè)在人流最少的區(qū)域內(nèi)，并應(yīng)有符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求的接地及相應(yīng)的電磁波、X射線防護(hù)措施。
SJ30002-92
3.2.3
√
設(shè)置于人流最少的東側(cè)，采取隔離防護(hù)措施。
3.2.2
聯(lián)動(dòng)生產(chǎn)線應(yīng)有緊急制動(dòng)裝置或聯(lián)鎖裝置，危險(xiǎn)部位應(yīng)設(shè)置醒目的警告標(biāo)志；散發(fā)毒氣的工序應(yīng)設(shè)置排風(fēng)；帶電作業(yè)的工序需裝設(shè)自動(dòng)保護(hù)裝置。
SJ30002-92
3.2.5
√
設(shè)置緊急制動(dòng)，設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng)，帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。
3.2.3
使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)，使用有毒溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備應(yīng)采取密閉措施；凡使用電氣的化學(xué)清洗設(shè)備，應(yīng)有良好的接地。
SJ30002-92
3.3.1
√
均設(shè)置。
3.2.4
生產(chǎn)車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。
SJ30002-92
3.3.6
√
設(shè)置洗眼、淋浴器。
3.2.5
對(duì)于存在激光輻射設(shè)備，應(yīng)采取屏蔽等防護(hù)措施。
SJ30002-92
9.1
√
屏蔽光源保護(hù)措施。
3.3
防火、防爆、防中毒
3.3.1
輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴(yán)密，管道系統(tǒng)應(yīng)采取接地措施。
SJ30002-92
3.6.8
√
管道系統(tǒng)通過管架接地。
3.3.2
易燃工作間的設(shè)備、電氣線路，開關(guān)、燈具等，均應(yīng)采用相應(yīng)等級(jí)的防爆型產(chǎn)品。
SJ30002-92
3.6.11
√
序號(hào)
檢查項(xiàng)目及內(nèi)容
依據(jù)法規(guī)
檢查結(jié)果
備注
1
建筑結(jié)構(gòu)及平面布置
1.1
生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
GBJ16-87
3.2.1
√
均為二級(jí)。
1.2
若多層生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)為二級(jí)，其防火分區(qū)允許占地面積為4000m2。（因有自動(dòng)水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)允許占地面積增加一倍）
GBJ16-87
3.2.1
√
占地面積4000m2。
1.3
有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等）宜獨(dú)立設(shè)置。
GBJ16-87
3.4.1
√
單獨(dú)設(shè)置。
1.4
有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等）應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施，泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。
GBJ16-87
3.4.2
∽
硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無(wú)泄壓。
1.5
硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值（m2/m3）宜采用0.05～0.22，體積超過1000m3的建筑，不宜小于0.03。
GBJ16-87
3.4.3
√
約0.3。
1.6
生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等可能散發(fā)可燃?xì)怏w、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地面。
GBJ16-87
3.4.6
√
環(huán)氧地面。
1.7
有爆炸危險(xiǎn)的該甲乙類廠房不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室如必須貼鄰布置，應(yīng)采用一、二級(jí)耐火等級(jí)建筑物并應(yīng)采用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護(hù)墻隔開并設(shè)置直通室外或疏散樓梯的安全出口。
GBJ16-87
3.4.8
√
1.8
廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度7度設(shè)防要求，框架抗震等級(jí)二級(jí)要求。
GB50187-93
2.0.4
√
7度設(shè)防。
1.9
芯片光刻等對(duì)潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，并在四周留有綠化場(chǎng)地。
SJ30002-92
2.3.6
√
1.10
易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房?jī)?nèi)，或設(shè)在多層廠房的頂層端部。
SJ30002-92
3.6.12
×
除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外，均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。
2
潔凈廠房
2.1
潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。
GB50073-2001
4.3.1
√
分別設(shè)置人員、物料凈化室。
2.2
潔凈室內(nèi)噪聲值不應(yīng)大于70db（A）。
GB50073-2001
4.4.1
√
≤65dB。
2.3
潔凈實(shí)驗(yàn)室耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
GB50073-2001
5.2.1
√
二級(jí)。
2.4
潔凈室的頂棚和壁板應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。
GB50073-2001
5.2.4
√
2.5
潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。
GB50073-2001
5.2.5
√
用防火墻和防火門分隔。
2.6
潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。
GB50073-2001
5.2.9
√
2.7
潔凈廠區(qū)應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)，潔凈室事故排風(fēng)換氣次數(shù)應(yīng)采用10～20次/h，事故排風(fēng)宜由常用排風(fēng)系統(tǒng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證，事故排風(fēng)裝置的開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點(diǎn)，事故排風(fēng)應(yīng)與報(bào)警裝置聯(lián)鎖。
SJ30002-92
7.0.10
√
設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設(shè)手動(dòng)開關(guān)，設(shè)自動(dòng)聯(lián)鎖報(bào)警。
3
作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置
3.1
作業(yè)環(huán)境
3.1.1
車間內(nèi)人工運(yùn)輸通道寬度必須≥1.0m。
SJ30002-92
3.1.3
√
2.5m
3.1.2
設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。
SJ30002-92
3.1.4
√
3.1.3
潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，并應(yīng)設(shè)置指明應(yīng)急安全出口的疏散標(biāo)志。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。
SJ30002-92
7.0.14
√
設(shè)應(yīng)急照明、疏散標(biāo)志。
3.1.4
易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明，疏散指示標(biāo)志及排煙措施。
SJ30002-92
3.6.13
√
3.1.5
鋼梯、平臺(tái)所設(shè)置的護(hù)欄的設(shè)計(jì)應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
GB4053.1～3-93
GB4053.4-83
第2.5.2條
×
廢液收集罐處平臺(tái)護(hù)欄不符要求。
3.2
電子、化學(xué)工藝安全
3.2.1
高能離子注入機(jī)應(yīng)設(shè)在人流最少的區(qū)域內(nèi)，并應(yīng)有符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求的接地及相應(yīng)的電磁波、X射線防護(hù)措施。
SJ30002-92
3.2.3
√
設(shè)置于人流最少的東側(cè)，采取隔離防護(hù)措施。
3.2.2
聯(lián)動(dòng)生產(chǎn)線應(yīng)有緊急制動(dòng)裝置或聯(lián)鎖裝置，危險(xiǎn)部位應(yīng)設(shè)置醒目的警告標(biāo)志；散發(fā)毒氣的工序應(yīng)設(shè)置排風(fēng)；帶電作業(yè)的工序需裝設(shè)自動(dòng)保護(hù)裝置。
SJ30002-92
3.2.5
√
設(shè)置緊急制動(dòng)，設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng)，帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。
3.2.3
使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)，使用有毒溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備應(yīng)采取密閉措施；凡使用電氣的化學(xué)清洗設(shè)備，應(yīng)有良好的接地。
SJ30002-92
3.3.1
√
均設(shè)置。
3.2.4
生產(chǎn)車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。
SJ30002-92
3.3.6
√
設(shè)置洗眼、淋浴器。
3.2.5
對(duì)于存在激光輻射設(shè)備，應(yīng)采取屏蔽等防護(hù)措施。
SJ30002-92
9.1
√
屏蔽光源保護(hù)措施。
3.3
防火、防爆、防中毒
3.3.1
輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴(yán)密，管道系統(tǒng)應(yīng)采取接地措施。
SJ30002-92
3.6.8
√
管道系統(tǒng)通過管架接地。
3.3.2
易燃工作間的設(shè)備、電氣線路，開關(guān)、燈具等，均應(yīng)采用相應(yīng)等級(jí)的防爆型產(chǎn)品。
SJ30002-92
3.6.11
√